表面解析

マイクロエレクトロニクス分野で使用されます
表面処理皮膜の管理においては、

その皮膜表面の状態はもちろん、
薬品の成分、工程環境測定、廃液管理など

高度な化学分析及び科学的な解析が必要です。

当社ではこれらに用います 各種分析・解析機器を所有し

正確且つ敏速な分析・解析管理を行っています。

所有装置

解析・測定
走査型電子顕微鏡(SEM)
エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
日本電子製 JSM-5600(SEM)
日本電子製 JED-2200(EDS)
フーリエ変換型赤外分光光度計(FT-IR)VARIAN製 3100-600UMA
蛍光X線分析装置(※含P率測定)日立ハイテクサイエンス製 SEA5120
セミオートワイヤーボンディング装置(Auワイヤ)ウエストボンド製 MODEL 454647E
セミオートワイヤーボンディング装置(Au、Ag、Cuワイヤー)TPTジャパン製 HB16
ワイヤープルテスターRHESCA製 PTR-03S
万能型ボンドテスターDAGE製 4000Plus
マイクロスコープキーエンス製 VHX-1000
密着測定機QUAD GROP製 ROMULUS  
高性能集束イオンビーム装置(FIB)日立ハイテクサイエンス製 SMI3050
電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
日立ハイテクノロジーズ製 SU-70
OXFORD製 x-act(EDS [SDD検出器])
イオンミリング装置日立ハイテクノロジーズ製 E-3500
リフローシミュレーターマルコム社製 SRS-1C
レーザー顕微鏡・AFMLasertec製 H-1200
接触角計協和界面科学製 DM-501
自動精密切断機三啓製 アイソメット4000
透過X線装置DAGE製 XD7600NT
X線光電子分光装置(XPS)サーモフィッシャー・サイエンティフィック製 K-Alpha+
プラズマ処理装置(プロセスガスO2など)March製 PCB2800、Max Via

 

大和電機諏訪事業所所有装置

液分析
イオンクロマトグラフィーDIONEX製 ICS-1500
液体クロマトグラフィー島津製作所製 LC-2010A HT
分光光度計日立ハイテクサイエンス製 U-2910
キャピラリー電気泳動Agilent製 7100
ICP発光分光分析装置日立ハイテクサイエンス製 PS3520-DD
自動滴定装置東亜DKK製 AUT501、AUT701
pHメーター東亜DKK製 HM-30R
表面張力計協和界面科学製 CBVP-A3
液中パーティクルカウンターSysmex製 APSS-200 
電気化学測定装置北斗電工製 HZ5000

 

分析装置

解析
オージェ電子分光装置(AES)
電子線マイクロアナライザー(EPMA)

 

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